国产光刻机初次股：华卓精科科创板过会，与清华共享专利

芯器械 9 月 17 日报道，本日，北京华卓精科科技股分有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板胜利过会。

华卓精科主开业务为超严紧测控装备，产物包含严紧行动体系、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合装备、激光退火装备等，要紧应用于集成电路制造、超严紧制造、光学、医疗等行业。

光刻机工件台是光刻机的 3 大焦点部件之一，华卓精科是国内首家自立研发并实现光刻机双工件台商业化制造的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的提供商。

目前，华卓精科的 DWS 系列双工件台可用于 65nm 及以上节点的 I-line、KrF 和 ArF 干式光刻机，但还未经历上海微电子的验收。

今年 7 月 29 日，华卓精科的上市委会议后果为暂缓审议，上市委现场扣问了相关其光刻机双工件台的家当化前景、其技术研发是否依附清华大学、以及 今年 年和 2020 年第四季度的大额贩卖收入等事变。

汇报期内，华卓精科营收呈递加趋向，2018 年、今年 年、2020 年其营收划分为 8570 万元、1.21 亿元和 1.52 亿元。

本轮 IPO，华卓精科决策募资 7.35 亿元，将用于半导体装备环节零部件研发制造、超严紧测控产物长三角立异与研发中间、集成电路装备与零部件产物立异项目、光刻机超严紧位移测量及平面光栅测量技术研发 4 个项目。

▲ 华卓精科募集资金用途

华卓精科的董事、焦点技术职员、首席科学家朱煜为公司的控股股东和现实掌握人，其现实掌握股分比例为 54.23%。上会稿表现，朱煜为清华大学长聘传授，华卓精科的一众高管也都有清华布景。

▲ 华卓精科股权布局

01. 营收连接增进，超严紧测控装备为要紧收入来源

凭据上会稿，华卓精科在汇报期内营收连接增进，且增速较快。华卓精科 2018 年-2020 年各期营收划分为 8570.92 万元、1.21 亿元和 1.52 亿元。其 今年 年营收增幅达 41.14%，2020 年营收增幅则为 25.94%。

净利润方面，华卓精科 2018 年、今年 年、2020 年净利划分为 1512.36 万元、2087.24 万元和 1242.83 万元。

上会稿称，华卓精科其营收增速较快要紧是因为下流终端环境趋势需要兴旺以及半导体装备国产替代趋向的影响。2020 年，华卓精科净利润下降较多，则因为其经管价格、贷款利钱、计提估计名誉损失大幅增加。

▲ 华卓精科 2018 年-2020 年营收与净利润变更

详细来说，华卓精科的营收组成可分为超严紧测控装备部件、超严紧测控装备整机与其余 3 类。

此中，超严紧测控装备部件要紧为严紧行动体系及技术开辟、光刻机双工件台模块及技术开辟、经典卡盘及技术开辟和隔振器 4 类；超严紧测控装备整机则能够分为晶圆级键合装备及技术开辟与激光退火装备。

华卓精科的要紧收入来源为严紧行动体系及技术开辟，在汇报期内其业务营收组成比例颠簸较大。2020 光阴刻机双工件台收入占其总营收的 11.42%，在 今年 年该项收入则为 0。

上会稿称，光刻机双工件台技术开辟难度较大。今年 年，上海微电子作为国内唯独的光刻机整机厂家未实现对条约内容验收，因此华卓精科该业务收入为 0。

▲ 2018 年-2020 韶华卓精科各业务收入占比变更

从客户情况来说，华卓精科要紧客户为半导体等平台的企业，高校客户收入占相对低。中科飞测、上海微电子在汇报期内连续为华卓精科的前五大客户。

2018 年-2020 年，华卓精科向前五大客户的贩卖收入占主开业务收入比例划分为 50.23%、53.57% 及 58.03%。固然前五大客户的贩卖占比不高，但上海微电子是国内唯独的光刻机整机厂家，因此必然程度上华卓精科光刻机双工件台的商业化前景取决于上海微电子的光刻机整机贩卖情况。

▲ 华卓精科汇报期内前五大客户

在原质料购买方面，华卓精科所需原质料要紧可分为底子质料、电气类、机器类和光学类。2020 年，华卓精科对机器类和电气类原质料购买金额较高，占比算计达 76.39%。

2018 年-2020 韶华卓精科向前五大提供商算计购买金额占比划分为 37.69%、29.41% 及 20.63%，呈下降趋向。翟柯莱姆达、Zygo Corporation 和山东鑫磊严紧机器有限公司在 今年 年和 2020 年是华卓精科的前五大提供商。

▲ 华卓精科汇报期内前五大提供商

02. 产物弥补多项国产空缺，光刻机双工件台存在制程差距

对光刻机环境趋势来说，要紧厂家有荷兰 ASML 和日本尼康、佳能和中国上海微电子 4 家。

尼康和佳能要紧接纳“In House”制造模式，即光刻机的要紧子体系均由整机厂研发和制造。ASML 早期接纳“Out House”制造模式，即仅负责整机的设计和子体系的需要定义，子体系由第三方厂家进行制造。2010 年后，ASML 也首先自行设计工件台。

上会稿指出，无论上述整机厂家采纳何种研发、制造模式，其工件台均不但独对外贩卖。这也意味着华卓精科对于光刻机的国产化替代较为紧张。

和 ASML 所应用的光刻机双工件台比拟，华卓精科的 DWS 系列产物和 ASML 的干式深紫外（DUV）光刻机双工件台处于统一架构，但性能有所掉队；华卓精科的浸没式 DWSi 系列产物还未实现研发；在极紫外（EUV）平台，华卓精科并未推出产物。

停止非常新的上会稿签署，华卓精科 DWS 系列光刻机双工件台累计发货 4 台，仍处于与上海微电子光刻机整机集成、测试阶段，还未经历上海微电子的非常终验收。

▲ 华卓精科光刻机双工件台与 ASML 所用工件台比拟

别的，在严紧行动体系、晶圆级键合装备、激光退火装备、静电卡盘等差别的环境趋势，华卓精科还需要面临差别的国表里角逐敌手。这些敌手既有 Aerotech、应用质料、泛林半导体、东京电子、住友重工等国外巨擘，也有中微公司、长川科技、朔方华创等国内半导体装备厂家。

相对来说，华卓精科存在融资渠道单纯、品牌出名度较低、客户资源较为短处等差距。别的，华卓精科的晶圆级键合装备、激光退火装备等仍处于少数量定制制造阶段，未实现范围化量产，其光刻机双工件台也还未经历下流客户验收。在产线富厚度和产物性能上，华卓精科同样和行业龙头存在差距。

▲ 华卓精科产物业务与行业龙头差距以及产物量产情况

只管华卓精科的产物和行业龙头相比存在不少差距，但是因为该公司较为富厚的技术蕴蓄堆积，其产物弥补了多项国内空缺，激动了半导体制造装备和焦点部件的国产替代历程。

停止 2021 年 6 月 30 日，华卓精科共领有 198 项专利以及 1 项专利独占权，此中包含发现专利 148 项、适用新型 43 项、表面设计 2 项、美国专利 5 项。

因为朱煜是清华大学的长聘传授，华卓精科与清华大学存在较为亲切的技术交换、同盟。上会稿写道，华卓精科承接了清华大学原发技术蕴蓄堆积，并在汇报期内拜托清华大学进行了 65nm 双工件台环节技术测试开辟项目。

华卓精科与清华大学作为配合专利权人领有的专利总计 162 项，此中和谈转让方法获得的专利 115 项、拜托开辟方法获得的专利 30 项、同盟研发方法获得的专利 17 项，清华大学授权华卓精科独占实施允许的专利 1 项。

▲ 华卓精科和清华大学共有专利、专利实施允许、技术转让情况

03. 研发团队占比超 30%，2 名焦点技术职员系清华工作

华卓精科研发职员共有 133 人，占工作职员总数比例为 33.08%。焦点技术职员共有 7 人，划分为朱煜、张鸣、杨鹏远、陈静、张利、张豹和刘效岩，此中朱煜和张鸣为华卓精科原有焦点技术职员。

朱煜 2001 年于中国矿业大学获机器设计及表面职业博士学位。卒业后，朱煜曾先后于中国矿业大学和清华大学从事资源网和博士后工作。2004 年 10 月至今，朱煜为清华大学传授，也是科技部重点平台立异团队负责人及国度 02 科技庞大专项技术副总师。别的，朱煜在环球领有授权专利 227 项，此中发现专利 173 项；他还刊登了 200 余篇论文，印绶专著 2 本。

2007 年和 2016 年，朱煜曾在北京七星华创电子和朔方华创任自力董事；2012 年 5 月至 2015 年 7 月，他任华卓有限董事长兼总司理；2015 年 8 月至 2015 年 9 月，朱煜为华卓精科董事长；2015 年 9 月至今，他担负华卓精科董事、首席科学家。值得一提的是，朱煜也是国产 CMP 厂家华海清科的股东，领有华海清科 4.98% 的股分。

▲ 华卓精科董事、首席科学家朱煜

张明 2005 年于清华大学获机器工程职业博士学位。1999 年 3 月至 2000 年 7 月，他在中国运载火箭技术钻研院任助理工程师；2005 年 7 月，张鸣在清华大学任博士后、助理钻研员、副钻研员等职。今年 年 8 月，张鸣任华卓精科技术照料；2018 年 2 月起，他首先担负华卓精科董事。

张鸣曾介入过国度庞大专项、973 决策、863 决策等 6 项国度级项目，刊登论文 66 篇，此中 SCI 期刊收录 17 篇。目前，张鸣领有国度授权专利 164 项，此中发现专利 147 项。

目前朱煜、张鸣已获得清华大学工作批复，作为工作职员在华卓精科就事。两人也答应，若华卓精科顺当上市，其将连续向清华大学解决工作批复，连续从事工作工作；若未能获得清华大学和议工作的批复，则将从清华大学解决离职手续并全职在华卓精科工作。

▲ 华卓精科片面技术职员在清华大学就事情况

04. 朱煜现实控股比例过半

凭据上会稿，朱煜干脆持有华卓精科 35.72% 的股分，他还经历艾西科技和艾西博锐持有 5.45% 的股分。而华卓精科的徐登峰、张鸣、杨开通、尹文生、胡金春、穆海华、成荣 7 名股东算计持有 13.06% 的公司股分，并于与朱煜连结一致行动关系。因此朱煜现实掌握的股分比例为 54.23%，是华卓精科的现实掌握人和控股股东。

别的，持有华卓精科股分比例跨越 5% 的股东另有水木愿景和水木长风两家公司，持股比例划分为 8.75% 和 6.78%。华卓精科董事长吴勇为水木愿景、水木长风和吴勇自己保举担负。

▲ 华卓精科股东名单

05. 结语：产学同盟弥补空缺，需要面临多平台巨擘角逐

与此前过会的华海清科相似，华卓精科也是依靠于清华大学的技术蕴蓄堆积，并经历“产学研用”模式，将学术功效转化为商用化产物，弥补了我国光刻机工件台这一半导体焦点部件的空缺。

因此，华卓精科若能够上市胜利，对我国光刻机的国产替代有着踊跃作用。但同时，华卓精科的产物业务较多，片面产物还未范围化量产，可否在这些曾经相对成熟的行业获得胜利仍需张望。