打破国外垄断,科翰龙自研晶圆打码机 WM-SC800R 正式通过验收

即日,科翰龙自立研发的晶圆打码机 WM-SC800R 通过验收。

北京亦庄消息表现,这是国内首台通过 FAB 厂(平时指半导体厂家)验收的具有自立常识产权的晶圆 (Wafer) ID 打码装备。

图片起原:北京亦庄

据介绍,两年前,WM-SC800R 就在 FAB 厂的 8 英寸集成电路晶圆生产线长进行晶圆 (Wafer) ID 软打码测试及试生产。检验后果崇高,该晶圆打码机所加工的晶圆 (Wafer) ID 码彻底到达了 SEMI (半导体装备与质料的国外性构造) 规范的要求,到达了用户关于软打码颗粒数的要求,彻底到达了 ISO 1 级情况下的要求。

经由两年的考试,2019 8 月,晶圆打码机 WM-SC800R 终究正式通过验收。

科翰龙副总司理王朝阳显露,为了冲破国外公司在相关平台的永远把持,科翰龙行使本人的技术上风研发了晶圆 (Wafer) ID 打码装备。WM-SC800R 在激光器的选用、光路的计划、晶圆定位的技巧、装备布局计划以及装备的整体掌握及软件编程上都是自立计划开辟的,具有彻底的自立常识产权。

科翰龙官网表现,该公司努力于严紧加工、激光加工及自动化技术在半导体微电子行业的使用,要紧开辟和生产三类产品:晶圆激光打码装备、晶圆倒角边抛装备、单片湿式工艺装备。

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