Ferrotec（中国）300mm 半导体晶圆再生项目来袭，年产 240 万枚
3月29日消息据中欣晶圆公布，Ferrotec（中国）旗下安徽富乐德长江半导体质料股份有限公司投资建设年产 240 万枚半导体晶圆再生项目，项目决策总投资 10 亿元，占地 75 亩，新建厂房 56774.38 平米。
据悉，该项目购置国表里优秀装备数百台套（关节工序接纳进口装备及专用装备），建设周期 15 个月，项目建成后将造成年产 240 万枚 300毫米 半导体晶圆严紧再生的制造线，可达世界优秀程度。
中文国外得悉，官方说明，安徽富乐德长江半导体质料股份有限公司由日本 FerroTec 株式会社（日本磁性流体技术控股有限公司）在中国的全资子公司上海申和热磁电子有限公司于 2019 年在铜陵倡议建立。日本 FerroTec 株式会社（日本磁性流体技术控股有限公司）于 1992 年正式进军中国市场。FerroTec（中国）现已发展为集产品研发、制造、贩卖于一体的多元化企业团体。旗下经管的 20 余家公司与制造基地遍布中国各地，为国表里客户供应具有世界优秀程度的质料、器件、装备和体系办理计划。
项目具有国内融合非常完善的再生晶圆制造线，也是国内首家专业从事 300毫米 大尺寸硅片晶圆再生的专业厂家，弥补国内该平台空缺。本项目的建设，将促使国内晶圆厂脱节永远要紧依附进口的逆境，使其在国内即可完成高程度的大尺寸晶圆再生。
接纳国外一流的 300毫米 晶圆用全自动严紧 CMP 研磨机，研磨加工完成全程自动化，厚度丧失少；装备里面行使 HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤装配，连结朴直净度；另外量测装备接纳美国 KLA-Tencor SP5 颗粒检验仪 , 具有 DUV 灵敏度和高吞吐量的无图案晶圆表面检验体系，加工与量测装备均处于国外行业当先程度。
项目建设过程当中，依靠 FerroTec（中国）成熟的半导体晶圆技术人才团队为底子，外籍专家团队干脆介入装备购买、安置与调试，国表里出名厂家介入装备搬运与二次配工程，每一关节均有高品格掌控。