长春光机所 1.5 米扫描干涉场曝光系统顺利通过验收
9月4日信息中国科学院长春色学严紧机器与物理研究所官方公布，8 月 24-25 日，国度天然科学基金委员会信息学部在长春构造专家对国度天然科学基金国度庞大科研仪器装备研制专项 “1.5 米扫描过问场暴光体系”举行了项目验收。
专家组觉得，项目组所有实现了项目的研制使命，胜利研制出 1.5 米扫描过问场暴光体系，该仪器的各项工作机能均到达或超过了使命书指标；项目经管文件和技术文档纪录所有，内容实在靠得住，档案立卷合乎标准要求；项目资金应用合乎经管办法要求；项目实行时代，围绕单体大尺寸全息光栅制作的一系列焦点物理和技术问题发展前沿索求和技术攻关，获得了系列紧张研究功效、技术创新和冲破。
中文国外打听到，专项研制的仪器装备包含一台 1.5 米扫描过问场暴光体系及四台制作全息光栅所需的帮助工艺装备。该项目要紧面向高能拍瓦激光输出技术、激光惯性约束核聚变研究及高端光刻机家当等计谋高科技平台对大面积全息光栅的迫切需要，研制了 1.5 米扫描过问场暴光体系，其指标是具备以步进扫描多线暴光方式制作 500毫米×1500毫米 全息光栅的才气。
经由 7 年的攻关，项目组通过办理和冲破长程重载工作台超严紧定位、暴光过问场超严紧丈量及相位锁定等十几项底子问题和环节技术，研制出了领有制作非常大面积 650毫米×1700毫米 单体无拼缝全息光栅才气的扫描过问场暴光体系。该项目的顺利实行与验收，标记着我国具备了自力制作米级单体无拼缝全息光栅的才气，冲破了由国外永远把持的地势，对高能激光、可控核聚变、高端光刻等平台的技术与家当推动具有庞大的计谋作用。
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