中微公司发布用于深紫外 LED 量产的 MOCVD设备 Prismo HiT3
7月30日信息中微半导体装备（上海）股份有限公司（简称 “中微公司”）本日揭露推出 Prismo HiT3 MOCVD 装备，要紧用于深紫外 LED 量产。
中微 Prismo 系列 MOCVD 装备当前已进入环球大无数当先的蓝绿光 LED 生产商，中文国外得悉，这次推出的 Prismo HiT3是中微 Prismo 系列 MOCVD 装备的非常新产品。该装备是适用于高品质氮化铝和高铝组分质料发展的环节装备，反应腔非常高温度可达 1400 度，具有优秀的工艺重复性、匀称性和低缺陷率。该装备同时也为高产量而计划，单炉可发展 18 片 2 英寸外表晶片，并可延伸到发展 4 英寸晶片。
中微公司 Prismo HiT3 MOCVD 装备早期的客户包含国内当先的深紫外 LED 生产商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外 LED 在家用、医疗和科研装备等领域有宽泛使用。
深紫外光几十年前就被使用于产业和民用消鸩杀菌领域。它通过毁坏细菌和病毒的 DNA 使其丢失繁殖才气来发挥好处。深紫外 LED 被用于差别波长的杀菌灯中，且与古代的汞灯比拟对情况无玷污。相似 SARS、MERS 和新冠病毒的出现使得深紫外 LED 产品的需要激增，深紫外 LED 产品能够覆灭这些复活微生物。波长 260-280nm 的 UVC 波段的深紫外光即是当前该领域非常先进的技术办理计划（比方杰生半导体的深紫外 LED 产品）。
中微公司计划的 Prismo HiT3 MOCVD 装备具有新鲜腔体计划，能在高温情况下发展高品质氮化铝工艺，并具有业内当先的深紫外 LED 高产出率；同时具备较长的平衡免开腔保护隔断时间，进一步延伸平常运行时间并进步产能。真空自动化传输体系能够按捺颗粒物的发生，并削减缺陷。自动化升降机构可利便保护操纵并有用节减保护时间。
中微公司显露，“中微自立研发的 Prismo HiT3 MOCVD 装备连续了我们现有 Prismo 领域已考证的要紧创新功效，并提升了可在高温工艺情况下发展氮化铝基质料的机能，使之拓展到深紫外 LED 的使用。”