北方华创正式推出 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机
6月29日消息在 2020 年 SEMICON CHINA 博览会上，朔方华创正式公布了 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机。官方介绍，该装备具有先进的刻蚀匀称性调治才气与良好的颗粒管控才气，可满足集成电路、功率半导体、硅基微表现等平台的金属刻蚀需要。
NMC612G 12 英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，具有多种匀称性掌握手法，如电流漫衍掌握技术、气体比例掌握技术、静电卡盘温控技术等，为客户供应了多种匀称性调治选定，拓宽了工艺空间。其中，静电卡盘及传输体系不仅适用于通例硅片的传输，也适用于差别平台的玻璃片、SOG 片等晶圆的传输及吸附，可多元化满足各平台多种需要。别的，针对刻蚀后残留气体导致的金属侵蚀问题，该装备接纳微波去胶技术，行使 O2 发生等离子体，能够较高的速度完成差别金属刻蚀后 PR 掩膜的去除，并包管金属永远存放过程当中不被侵蚀。
中文国外打听到，当前 NMC612G 金属刻蚀机曾经胜利进入集成电路、功率半导体、硅基微表现等平台的多家制造线，其良好的工艺机能和更低的领有老本，正在助力客户大范围量产。
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