晶盛机电:首台 12 英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶

7月21日消息据晶盛机电公布,7月20日,晶盛机电晶体试验室自立研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉胜利发展出首颗12英寸硅单晶。这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉发展出8英寸硅单晶之后,又一次在半导体级硅单晶发展装备上获得的紧张技术希望,为国内大硅片行业技术晋级供应了装备保证。官方说明……