晶盛机电：首台 12 英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶
7 月 21 日消息 据晶盛机电公布，7 月 20 日，晶盛机电晶体试验室自立研发的国内首台 12 英寸硬轴直拉硅单晶炉胜利发展出首颗 12 英寸硅单晶。
这是继 2020 年 8 月国内首台 8 英寸硬轴直拉炉发展出 8 英寸硅单晶之后，又一次在半导体级硅单晶发展装备上获得的紧张技术希望，为国内大硅片行业技术晋级供应了装备保证。
官方说明，研发团队在巩固原有技术的底子上，办理了硬轴单晶炉高真空、高精度及传动过程触动消弭等诸多技术困难，完成了高巩固性晶体发展环境，为 12 英寸硅单晶体内微缺陷掌握和径向匀称性进步供应了技术支持。
晶盛机电称，依靠两项国度科技重大 02 专项课题（“300毫米 硅单晶直拉发展装备的开辟”和“8 英寸区熔硅单晶炉国产装备研制”），专注于半导体硅单晶发展装备研发，接踵开辟出定拉速控径、液位掌握、定放肩、超导磁场拉晶等多项国外当先技术。
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