盛美半导体发布首台应用于化合物半导体制造中晶圆级封装和电镀应用的电镀设备
8月26日信息半导体例造与优秀晶圆级封装领域装备提供商,盛美半导体装备本日公布了新产品——UltraECPGIII电镀装备,以支撑化合物半导体(SiC,GaN)和砷化镓(GaAs)晶圆级封装。该系列装备还能将金(Au)镀到反面深孔工艺中,具有更好的匀称性和台阶笼盖率。UltraECPGIII还融合了……
8月26日信息半导体例造与优秀晶圆级封装领域装备提供商,盛美半导体装备本日公布了新产品——UltraECPGIII电镀装备,以支撑化合物半导体(SiC,GaN)和砷化镓(GaAs)晶圆级封装。该系列装备还能将金(Au)镀到反面深孔工艺中,具有更好的匀称性和台阶笼盖率。UltraECPGIII还融合了……